温度センサ
白金温度センサについて
当社では感温体に白金を使用した白金薄膜タイプの温度センサを製造しています。白金は温度の変化で電気抵抗値が変化しますが、広い温度範囲にわたり抵抗値変化がリニア（直線）に近いためひとつの素子で幅広い温度範囲をカバーすることが可能です。またその抵抗変化量はJIS・IECなどの規格に沿っていれば抵抗値テーブルを使用できます。また長期間の使用でも抵抗値や抵抗温度係数（T.C.R.）変化がほとんど無く安定性に優れます。それらを活かして自動車産業、産業機械など長期信頼性の求められる用途にご使用いただいております。またそのセンサ素子を使用したプローブタイプのラインナップも持っています。
半導体プロセスと温度センサ
半導体プロセスはベースとなるSiウエハの上に何層も何層もパターンや半導体層を重ねて完成品のチップを作っています。大きなSiウエハに何回もフォトリソグラフィー工程を繰り返しながら作成するため、長い時間と大きなコストがかかり半導体は高価になります。その高価な半導体チップの歩留りを少しでも上げるためには完成品での特性測定や検査の精度を上げる必要がありそこに高精度の白金温度センサが活きてきます。特にチップを発熱させる検査工程では白金温度センサを使用すると精密に温度を測定しながらチップに負荷をかけることができます。白金温度センサの高精度・広温度範囲の特性を活かせるアプリケーションです。
| ウエハレベル検査工程の温度管理 | 小型チップ形 SDT73、LP73，WTPなど |
| 特性測定（バーンインなど）の温度管理 | プローブ形STタイプ |
| 成膜プロセスでの温度管理 | SDT310シリーズ、プローブ形STタイプ |
白金温度センサラインナップ
当社の温度センサは感温体に白金を使用した白金薄膜タイプの温度センサです。リード付きのアキシャルタイプ、リード付きラジアルタイプ、面実装タイプのラインナップを持っていますのでご使用方法に応じて選択いただけます。また。またそのセンサを使用したプローブタイプのラインナップも豊富にあります。
ワイヤーボンディング対応白金薄膜温度センサ
WTP3216
- 抵抗値1kΩ
- 裏面メタライズではんだやシンタリングでの実装が可能
- 表面電極は、Max. Φ300μmの太いアルミワイヤーに対応
- AEC-Q200準拠
角形チップ白金薄膜温度センサ
SDT73H・SDT73V・SDT73S
- 抵抗温度特性（T.C.R.）がJIS・IEC規格相当
- 欧州RoHS対応品
- SDT73Vは自動車用でAEC-Q200準拠
小形白金薄膜温度センサ/小形ヒーター素子
SDT310AP/VASP2
- SDT310VASP2は業界最小クラスで熱時定数小
- 白金膜であるため長期安定性あり
- SDT310VASP2は、AEC-Q200準拠
白金薄膜温度センサ
SDT101
- SDT101SAは超小型で1kΩが可能
- 欧州RoHS対応品
- 一部製品は AEC-Q200準拠
小形白金薄膜温度センサ
SDT310シリーズ
- 抵抗温度係数がJISやIEC規格相当
角形薄膜温度センサ
LP73シリーズ
- 高T.C.R.（+5000×10-6/K）かつ高い抵抗値（2Bサイズで10kΩ）が可能
- リニア抵抗器では、最高レベルの精度
カスタム温度センサ
STシリーズ
- 接続用導線を付けたタイプ
- 接続導線は２線式、３線式、４線式があります
- 固定に適したねじ止めタイプ、SUS管に封止したタイプ等にも対応可能
当社白金温度センサの強み・弱み
強み
- 抵抗温度係数(T.C.R.)の素性の良さ（直線性が良）から、温度を数学的に求めやすく高精度に温度測定が可能
- 白金は化学的安定性に優れ経時変化が少なく長期間にわたり特性変化がない
- 個体差が小さく、校正後のズレが少ない
- JIS・IECなどの国際規格が整備されている（IEC 60751）
弱み
- 白金温度センサは貴金属の白金を使用しているためやや高価になる
- 薄膜チップ形の場合に高抵抗タイプは過酷な環境（振動）に弱くなる可能性あり
- 配線の影響を受けやすいので３線式４線式が必要になる
セレクションガイド [KOAページ]
KOAのホームページではどのようなセンサを使ったらよいのかに迷った時の助けになるように温度センサのセレクションガイドを用意してあります。選定に迷ったらご活用ください。